广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵
扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度,相当于从82 厘米/32 英寸高跌落(处于非运行状态的泵)和从 15 厘米/6 英寸高跌落(处于运行状态的泵)。在泵处于垂直、水平和倒立状态时,各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题(不发生转子机械接触,泵运行状态不变)。在每次跌落后验证泵的不平衡性,结果表明变化,远低于阈值。
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“黑科技” No.2 AFS 安捷伦悬浮轴承技术
一般的涡轮分子泵的设计,泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的,一旦泵体有振动或冲击,这些振动就会传递到轴承,并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动,对振动特别敏感,传递到轴承的振动会影响轴承的寿命,传递到转子的振动会造成转子发生位移,甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触,巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎,整泵也随之报废。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,程度减少系统停机时间,确保长时间工作的稳定性。
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与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到一定的曲面上(3D),达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
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安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计,其预置了 6 个不同的应用设置,通过简择,即可在不同应用间切换,对于大多数常见应用(喷氦、分流、背压法自动检漏等),直接选择相应的应用即可。另外,根据每个应用的特点,检漏仪在出厂时已经预置好了一些设置,并且每个应用可存储 3 组报警值,用户可以根据不同的产品修改报警值并分别保存。
安捷伦 HLD 系列检漏仪有一个好的大漏粗测模式,该模式采用的不是质谱偏转原理,因此不需要很好的真空,可以在高达 2 万帕的压力下检漏,这一点对于大型真空系统的粗检和复杂系统的排查性检漏特别实用。
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安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS,悬浮转子,能够有限改善震动。AFS提供了超高精度,确保了轴承对准。同时径向静止设计,极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS,TV304FS,TV551,TV701,TV1001,TV2300,TV3KG等不同抽速大小的分子泵,以满足客户不同的应用需求。
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安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度好的干泵